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静压部件在超精密加工机床中的应用

时间:2021-07-23 来源网站:蓬莱化工机械网

2016-06-19 20:05:16来源: 贤集网

超微细结构加工是当前超精密加工领域的热点,应用非常广泛,如各种显示器件(电视机、笔记本电脑、手机等显示单元)、印刷品、灯具及其他光学器件等。微结构形状有V型、金字塔型、球型、棱柱等多种形式。其加工深度一般约为结构深度5~50μm左右,表面粗糙度控制在10nm以下,加工精度很大程度由加工机床决定。

这种微结构主要采用超精密多轴金刚车进行加工,目前这种机床国际上生产厂家有美国MOORE、德国KUGLER、日本东芝等少数几个厂家。美国MOORE公司的HDL2000型超精密数控鼓形车床,机床最大加工直径达600mm,最大加工长度为2000mm,工件最大质量为3000kg。在MOORE这台超精密数控鼓形车床中,静压支承技术发挥得淋漓尽致。

该机床头架主轴、尾座主轴均采用超精密液体静压支承技术,其径向刚度达到875N/μm,动态回转精度达到100nm以下;B轴采用液体静压转台,其定位分辨率为0.02弧度秒;重复定位精度为±2弧度秒;3根线性进给轴均采用重型液体静压导轨,其中X轴直线度达到0.5μm/350mm,Z轴直线度达到1μm/500mm。机床极高的几何精度和位置精度保证了微结构加工精度。

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